دورية أكاديمية
Influence of Adsorbed Gas Species on Activation Process and Pumping Performance for NEG Coating
| العنوان: | Influence of Adsorbed Gas Species on Activation Process and Pumping Performance for NEG Coating / 吸着ガス種によるNEGコーティングの再活性化過程と排気性能への影響 |
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| المؤلفون: | Takashi UCHIYAMA, Tohru HONDA, Xiuguang JIN, Yasunori TANIMOTO, 内山 隆司, 本田 融, 谷本 育律, 金 秀光 |
| المصدر: | 表面と真空 / Vacuum and Surface Science. 2021, 64(7):301 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 24335835 24335843 |
|---|---|
| DOI: | 10.1380/vss.64.301 |