دورية أكاديمية
Pd、Pd/TiZrVコーティングした銅チューブの排気性能と 放射光刺激脱離の評価
| العنوان: | Pd、Pd/TiZrVコーティングした銅チューブの排気性能と 放射光刺激脱離の評価 / Pumping performance and synchrotron radiation-stimulated desorption from Pd or Pd/TiZrV coated copper tubes |
|---|---|
| المؤلفون: | Takashi Uchiyama, Tohru Honda, Xiuguang Jin, Yasunori Tanimoto, 内山 隆司, 本田 融, 谷本 育律, 金 秀光 |
| المصدر: | Abstract book of Annual Meeting of the Japan Society of Vacuum and Surface Science. 2021, :3 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| تدمد: | 24348589 |
|---|---|
| DOI: | 10.14886/jvss.2021.0_3P23 |