Area-selected Ion Milling for Reflection Wavefront Error Correction of Soft X-ray Multilayer Mirrors

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Area-selected Ion Milling for Reflection Wavefront Error Correction of Soft X-ray Multilayer Mirrors
المؤلفون: Tsuru, Toshihide, Sakai, Yu, Hatano, Tadashi, Yamamoto, Masaki, Garrett, R., Gentle, I., Nugent, K., Wilkins, S.
المصدر: AIP Conference Proceedings ; ISSN 0094-243X
بيانات النشر: AIP
سنة النشر: 2010
نوع الوثيقة: conference object
اللغة: unknown
DOI: 10.1063/1.3463326
الإتاحة: https://doi.org/10.1063/1.3463326Test
رقم الانضمام: edsbas.D53D9657
قاعدة البيانات: BASE