Improved GeOI substrates for pMOSFET off-state leakage control

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Improved GeOI substrates for pMOSFET off-state leakage control
المؤلفون: Romanjek, K., Augendre, E., van den Daele, W., Grandchamp, B., Sanchez, L., Le Royer, C., Hertmann, J.-M., Ghyselen, B., Guiot, E., Bourdelle, K., Cristoloveanu, S., Boulanger, F., Clavelier, L.
المساهمون: Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS), Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1 (UB)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut de Biologie du Développement de Marseille (IBDM), Aix Marseille Université (AMU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), SOITEC, Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Université Savoie Mont Blanc (USMB Université de Savoie Université de Chambéry )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut d'astrophysique spatiale (IAS), Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Institut national des sciences de l'Univers (INSU - CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Centre National d’Études Spatiales Paris (CNES), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI), Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
المصدر: International Conference on Insulating Films on Semiconductors (INFOS), ; https://hal.science/hal-00603830Test ; International Conference on Insulating Films on Semiconductors (INFOS),, Jul 2009, Cambridge, United Kingdom
بيانات النشر: HAL CCSD
سنة النشر: 2009
المجموعة: Université Savoie Mont Blanc: HAL
مصطلحات موضوعية: [PHYS.COND.CM-GEN]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Other [cond-mat.other]
جغرافية الموضوع: Cambridge, United Kingdom
الوصف: National audience
نوع الوثيقة: conference object
اللغة: English
العلاقة: hal-00603830; https://hal.science/hal-00603830Test
الإتاحة: https://hal.science/hal-00603830Test
رقم الانضمام: edsbas.86C99C39
قاعدة البيانات: BASE