A Comparative Study of NBTI and PBTI (Charge Trapping) in SiO2/HfO2 Stacks with FUSI, TiN, Re Gates

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: A Comparative Study of NBTI and PBTI (Charge Trapping) in SiO2/HfO2 Stacks with FUSI, TiN, Re Gates
المؤلفون: Zafar, S., Kim, Y., Narayanan, V., Cabral, C., Paruchuri, V., Doris, B., Stathis, J., Callegari, A., Chudzik, M.
المصدر: 2006 Symposium on VLSI Technology, 2006. Digest of Technical Papers.
بيانات النشر: IEEE
سنة النشر: 2006
نوع الوثيقة: conference object
اللغة: unknown
DOI: 10.1109/vlsit.2006.1705198
الإتاحة: https://doi.org/10.1109/vlsit.2006.1705198Test
http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/11173/35986/01705198.pdf?arnumber=1705198Test
رقم الانضمام: edsbas.5788CD3B
قاعدة البيانات: BASE