المؤلفون: Wang, Xinger¹, Fan, Xuhao¹, Liu, Yuncheng¹, Xu, Ke¹, Zhou, Yining¹, Zhang, Zexu¹, Chen, Fayu¹, Yu, Xuan¹, Deng, Leimin^1,2, Gao, Hui^1,2 Gaohui_wnlo@hust.edu.cn, Xiong, Wei^1,2 weixiong@hust.edu.cn

المصدر: Laser & Photonics Reviews. Jun2024, p1. 8p. 5 Illustrations.

مصطلحات موضوعية: *NANOLITHOGRAPHY, *PARALLEL processing, *MICRO-optics, *MICROMECHANICS, *MICROLITHOGRAPHY

المؤلفون: Gonzalez, J.¹ (AUTHOR), Sheil, J.^1,2 (AUTHOR) j.sheil@arcnl.nl

المصدر: Physics of Plasmas. May2024, Vol. 31 Issue 5, p1-6. 6p.

مصطلحات موضوعية: *ULTRAVIOLET radiation, *NANOLITHOGRAPHY, *TIN, *LASER beams, *MASS production

المؤلفون: Gulyaev, Pavel¹ (AUTHOR) lucac@inbox.ru

المصدر: AIP Conference Proceedings. 2024, Vol. 3021 Issue 1, p1-6. 6p.

مصطلحات موضوعية: *NANOLITHOGRAPHY, *SCANNING probe microscopy, *RECOGNITION (Psychology), *STATISTICS, *DATA distribution

المؤلفون: Ding, Chenliang¹ (AUTHOR), Liu, Xi¹ (AUTHOR), Liu, Qiulan¹ (AUTHOR), Zhu, Dazhao¹ (AUTHOR), Luo, Mengdi¹ (AUTHOR), Gao, XiuJun¹ (AUTHOR), Yang, Zhenyao¹ (AUTHOR), Sun, Qiuyuan¹ (AUTHOR), Qian, Quanli¹ (AUTHOR), Shen, Xiaoming¹ (AUTHOR), Cao, Chun¹ (AUTHOR), You, Shangting¹ (AUTHOR), Xu, Liang² (AUTHOR), He, Minfei² (AUTHOR), Liu, Yong^1,3 (AUTHOR), Kuang, Cuifang^1,2,4 (AUTHOR) cfkuang@zju.edu.cn, Liu, Xu^1,2 (AUTHOR) liuxu@zju.edu.cn

المصدر: Laser & Photonics Reviews. Mar2024, Vol. 18 Issue 3, p1-9. 9p.

مصطلحات موضوعية: *NANOLITHOGRAPHY, *ACHROMATISM, *PHOTONIC crystals, *ABSORPTION, *LITHOGRAPHY

المؤلفون: Kudrya, V. P.¹ (AUTHOR) kvp@ftian.ru

المصدر: Russian Microelectronics. 2023 Suppl 1, Vol. 52, pS110-S114. 5p.

مصطلحات موضوعية: *NANOLITHOGRAPHY, *NANOSTRUCTURES, *PLASMONICS, *METALLIC films, *GEOMETRIC analysis, *MAGNETRON sputtering

المؤلفون: Späth, Andreas^1,2 (AUTHOR) andreas.spaeth@fau.de

المصدر: AIP Conference Proceedings. 9/2/2023, Vol. 2990 Issue 1, p1-6. 6p.

مصطلحات موضوعية: *PROBLEM solving, *NANOLITHOGRAPHY, *SOFT X rays, *PROOF of concept, *X-rays

المؤلفون: Conde Rubio, Ana

المساهمون: University/Department: Universitat de Barcelona. Departament de Física de la Matèria Condensada

مرشدي الرسالة: Batlle Gelabert, Xavier, Labarta, Amílcar

المصدر: TDX (Tesis Doctorals en Xarxa)

مصطلحات موضوعية: Nanoestructures, Nanoestructuras, Nanostructures, Nanopartícules, Nanopartículas, Nanoparticles, Or, Oro, Gold, Nanolitografia, Nanolitografía, Nanolithography, Ciències Experimentals i Matemàtiques

الوقت: 538.9

وصف الملف: application/pdf

الوصول الحر: http://hdl.handle.net/10803/663481Test

المؤلفون: Evangelio Araujo, Laura

المساهمون: University/Department: Universitat Autònoma de Barcelona. Departament de Química

مرشدي الرسالة: Pérez Murano, Francesc, Fraxedas Calduch, Jordi, Bausells Roigé, Joan

المصدر: TDX (Tesis Doctorals en Xarxa)

مصطلحات موضوعية: Copolímer de bloc, Copolímero de bloque, Block copolymer, Nanolitografia, Nanolitografía, Nanolithography, Auto-assemblatge dirigit per guitatge químic, Auto-asemblaje dirigido por guiado químico, Directed self-assembly by chemical epitaxy, Ciències de la Salut

وصف الملف: application/pdf

الوصول الحر: http://hdl.handle.net/10803/406119Test

المؤلفون: Sun, Changwei, Wang, Quansen, Liang, Jing, Wang, Wencong, Liu, Dongmei, Chen, Zhenhua, Gu, Min

المصدر: Frontiers in Physics; 2024, p1-6, 6p

مصطلحات موضوعية: OPTICAL diffraction, OPTICAL elements, COMPLEX variables, BESSEL beams, LIGHT intensity, NANOLITHOGRAPHY

المؤلفون: Arsenyev, M. V., Zhiganshina, E. R., Kolymagin, D. A., Ilyichev, V. A., Kovylin, R. S., Vitukhnovsky, A. G., Chesnokov, S. A.

المصدر: High Energy Chemistry; Jun2024, Vol. 58 Issue 3, p295-301, 7p

مصطلحات موضوعية: ANILINE, POLYMERIZATION, FEMTOSECOND lasers, ACRYLATES, PHOTOPOLYMERIZATION, NANOLITHOGRAPHY, AZO dyes