دورية أكاديمية
Damage free machining of mono-crystalline silicon carbide
| العنوان: | Damage free machining of mono-crystalline silicon carbide / 単結晶シリコン・カーバイドにおけるダメージ・フリー加工 |
|---|---|
| المؤلفون: | Hiroaki Tanaka, Kota Nagi, Shoichi Shimada, 凪 孝太, 島田 尚一, 田中 宏明 |
| المصدر: | Proceedings of JSPE Semestrial Meeting. 2013, :317 |
| قاعدة البيانات: | J-STAGE |
| DOI: | 10.11522/pscjspe.2013S.0.317.0 |
|---|