Self-Assembly of Nanovoids in Si Microcrystals Epitaxially Grown on Deeply Patterned Substrates

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Self-Assembly of Nanovoids in Si Microcrystals Epitaxially Grown on Deeply Patterned Substrates
المؤلفون: 'Andrea Barzaghi
المصدر: Giovanni Isella
الوصول الحر: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=r3c4b2081b22::998ec2d476e46d45b35d5ce5882e3f7aTest
رقم الانضمام: edsair.r3c4b2081b22..998ec2d476e46d45b35d5ce5882e3f7a
قاعدة البيانات: OpenAIRE