المؤلفون: Zgheib, J., Berthelot, L., Tranchant, J., Ginot, N., Besland, M.-P., Caillard, A., Minea, T., Rhallabi, A., Jouan, P.-Y.

المساهمون: Institut des Matériaux de Nantes Jean Rouxel (IMN), Institut de Chimie - CNRS Chimie (INC-CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Nantes université - UFR des Sciences et des Techniques (Nantes univ - UFR ST), Nantes Université - pôle Sciences et technologie, Nantes Université (Nantes Univ)-Nantes Université (Nantes Univ)-Nantes Université - pôle Sciences et technologie, Nantes Université (Nantes Univ)-Nantes Université (Nantes Univ)-Nantes Université - Ecole Polytechnique de l'Université de Nantes (Nantes Univ - EPUN), Nantes Université (Nantes Univ)-Nantes Université (Nantes Univ), Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (IETR), Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Nantes Université - pôle Sciences et technologie, Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés (GREMI), Université d'Orléans (UO)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire de physique des gaz et des plasmas (LPGP), Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

المصدر: ISSN: 0734-2101 ; Journal of Vacuum Science & Technology A ; https://hal.science/hal-04299303Test ; Journal of Vacuum Science & Technology A, 2023, 41 (6), pp.063003. ⟨10.1116/6.0002857⟩.

مصطلحات موضوعية: THIN-FILMS, LANGMUIR PROBE, DEPOSITION, HIPIMS, MODEL, TIME, MICROSTRUCTURE, SPECTROSCOPY, BOMBARDMENT, PRESSURE, [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials, [SPI.PLASMA]Engineering Sciences [physics]/Plasmas

العلاقة: hal-04299303; https://hal.science/hal-04299303Test; https://hal.science/hal-04299303/documentTest; https://hal.science/hal-04299303/file/e-Hipims_manuscript_JVST_JZ_final.pdfTest

الإتاحة: https://doi.org/10.1116/6.0002857Test
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المؤلفون: Zgheib, J., Berthelot, L., Tranchant, J., Ginot, N., Besland, M.-P., Caillard, A., Minea, T., Rhallabi, A., Jouan, P.-Y.

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مصطلحات موضوعية: THIN-FILMS, LANGMUIR PROBE, DEPOSITION, HIPIMS, MODEL, TIME, MICROSTRUCTURE, SPECTROSCOPY, BOMBARDMENT, PRESSURE, [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials, [SPI.PLASMA]Engineering Sciences [physics]/Plasmas

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مصطلحات موضوعية: THIN-FILMS, LANGMUIR PROBE, DEPOSITION, HIPIMS, MODEL, TIME, MICROSTRUCTURE, SPECTROSCOPY, BOMBARDMENT, PRESSURE, [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials, [SPI.PLASMA]Engineering Sciences [physics]/Plasmas

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