دورية أكاديمية
Characterisation of ultra-shallow disorder profiles and dielectric functions in ion implanted Si
| العنوان: | Characterisation of ultra-shallow disorder profiles and dielectric functions in ion implanted Si |
|---|---|
| المؤلفون: | Mohacsi I, Petrik P, Fried M, Lohner T, Berg JA van den, Reading MA, Giubertoni D, Barozzi M, Parisini A |
| سنة النشر: | 2011 |
| المجموعة: | Science & Technology Facilities Council: ePublication Archive |
| مصطلحات موضوعية: | Materials |
| نوع الوثيقة: | article in journal/newspaper |
| اللغة: | unknown |
| تدمد: | 0040-6090 |
| العلاقة: | urn:ISSN:0040-6090; Thin Solid Films; http://purl.org/net/epubs/series/1297Test; SRS - MEIS; Science and Technology Facilities Council (2007- ); http://purl.org/net/epubs/work/55816Test |
| الإتاحة: | http://purl.org/net/epubs/work/55816Test |
| رقم الانضمام: | edsbas.8AFB5C6D |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| تدمد: | 00406090 |
|---|