-
1دورية أكاديمية
المؤلفون: Agrawal, Khushabu S.1, Patil, Vilas S.1, Mahajan, Ashok M.1 ammahajan@nmu.ac.in
المصدر: Thin Solid Films. May2018, Vol. 654, p30-37. 8p.
مصطلحات موضوعية: *THIN films, *ATOMIC layer deposition, *CRYSTALLOGRAPHY, *GERMANIUM, *ATOMIC force microscopy
-
2دورية أكاديمية
المؤلفون: Agrawal, Khushabu S.1, Patil, Vilas S.1, Khairnar, Anil G.1, Mahajan, Ashok M.1 ammahajan@nmu.ac.in
المصدر: Applied Surface Science. Feb2016, Vol. 364, p747-751. 5p.
مصطلحات موضوعية: *HAFNIUM oxide, *DIELECTRICS, *GERMANIUM, *NITRIDES, *HEAT treatment, *AMMONIA
