المؤلفون: Manchon, Benoît, Segantini, Greta, Baboux, Nicolas, Rojo Romeo, Pedro, Barhoumi, Rabei, Drouin, Dominique, Ingrid C., Infante, Alibart, F., Vilquin, Bertrand, Deleruyelle, Damien

المساهمون: Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes Sherbrooke (LN2), Université de Sherbrooke (UdeS)-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université de Lyon-École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique Sherbrooke (3IT), Université de Sherbrooke (UdeS), INL - Matériaux Fonctionnels et Nanostructures (INL - MFN), Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL), École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL), Université de Lyon-École Supérieure de Chimie Physique Électronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Royal Melbourne Institute of Technology University (RMIT University), INL - Dispositifs Electroniques (INL - DE), INL - Ingénierie et conversion de lumière (i-Lum) (INL - I-Lum), Nanostructures, nanoComponents & Molecules - IEMN (NCM - IEMN), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL), This work was undertaken on the NanoLyon technology platform and received funding from the European Union's Horizon 2020 research and innovation programme under Grant Agreement no. 780302 (3eFERRO), under the Marie Sklodowska-Curie Grant Agreement no. 801512 (i3E ECLAUSion), and French Public Authorities through the NANO2022 program., European Project: ECLAUSion, European Project: 780302,EC

المصدر: ISSN: 1862-6254.

مصطلحات موضوعية: aluminum, ferroelectric HZO, ferroelectric tunnel junction, thin films, [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci], [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics

العلاقة: info:eu-repo/grantAgreement//780302/EU/Energy Efficient Embedded Non-volatile Memory Logic based on Ferroelectric Hf(Zr)O2/3eFERRO; hal-03609773; https://hal.science/hal-03609773Test; https://hal.science/hal-03609773/documentTest; https://hal.science/hal-03609773/file/pssr202100585_to_HAL.pdfTest

الإتاحة: https://doi.org/10.1002/pssr.202100585Test
https://hal.science/hal-03609773Test
https://hal.science/hal-03609773/documentTest
https://hal.science/hal-03609773/file/pssr202100585_to_HAL.pdfTest

المؤلفون: Manchon, Benoît, Segantini, Greta, Baboux, Nicolas, Rojo Romeo, Pedro, Barhoumi, Rabei, Infante, Ingrid C., Alibart, Fabien, Drouin, Dominique, Vilquin, Bertrand, Deleruyelle, Damien

المصدر: Physica Status Solidi - Rapid Research Letters; Oct2022, Vol. 16 Issue 10, p1-6, 6p

مصطلحات موضوعية: ALUMINUM, MAGNETRON sputtering, REACTIVE sputtering, ELECTRIC conductivity, THIN films