High temperature nanoscratching of single crystal silicon under reduced oxygen condition

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: High temperature nanoscratching of single crystal silicon under reduced oxygen condition
المؤلفون: Zare Chavoshi, Saeed
بيانات النشر: University of Strathclyde, 2017.
سنة النشر: 2017
مصطلحات موضوعية: nanoscratching, hot machining
الوصف: Data for nanoscratching experiment under low and high temperature; created by MS word 2010
DOI: 10.15129/b6bb339e-632c-4dfe-8185-7ee9d7e5b84a
الوصول الحر: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4dabfb3a07af4f0819dbcec4db702a1aTest
رقم الانضمام: edsair.doi...........4dabfb3a07af4f0819dbcec4db702a1a
قاعدة البيانات: OpenAIRE
الوصف
DOI:10.15129/b6bb339e-632c-4dfe-8185-7ee9d7e5b84a