التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: |
Research on MEMS biaxial electromagnetic micromirror based on radial magnetic field distribution |
المؤلفون: |
Li, Chen, Xu, Shihao, Zhao, Libo, Cheng, Guanghua |
المساهمون: |
Peng, Changsi, Cen, Fengjie |
المصدر: |
International Conference on Laser, Optics and Optoelectronic Technology (LOPET 2021) |
بيانات النشر: |
SPIE |
سنة النشر: |
2021 |
نوع الوثيقة: |
conference object |
اللغة: |
unknown |
DOI: |
10.1117/12.2602278 |
الإتاحة: |
https://doi.org/10.1117/12.2602278Test |
رقم الانضمام: |
edsbas.EA8CB25E |
قاعدة البيانات: |
BASE |