Research on MEMS biaxial electromagnetic micromirror based on radial magnetic field distribution

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Research on MEMS biaxial electromagnetic micromirror based on radial magnetic field distribution
المؤلفون: Li, Chen, Xu, Shihao, Zhao, Libo, Cheng, Guanghua
المساهمون: Peng, Changsi, Cen, Fengjie
المصدر: International Conference on Laser, Optics and Optoelectronic Technology (LOPET 2021)
بيانات النشر: SPIE
سنة النشر: 2021
نوع الوثيقة: conference object
اللغة: unknown
DOI: 10.1117/12.2602278
الإتاحة: https://doi.org/10.1117/12.2602278Test
رقم الانضمام: edsbas.EA8CB25E
قاعدة البيانات: BASE