المؤلفون: Sanchez, M. I., Sundberg, L. K., Bozano, L. D., Sooriyakumaran, R., Sanders, D. P., Senna, T., Tanabe, M., Komizo, T., Yoshida, I., Zweber, A. E.

المساهمون: Faure, Thomas B., Ackmann, Paul W.

المصدر: SPIE Proceedings ; Photomask Technology 2013 ; ISSN 0277-786X

الإتاحة: https://doi.org/10.1117/12.2028753Test

المؤلفون: Sanchez, M. I., Sundberg, L. K., Wallraff, G. M., Hinsberg, W. D., Bozano, L. D., Truong, H. D., Petrillo, K.

المساهمون: Somervell, Mark H.

المصدر: SPIE Proceedings ; Advances in Resist Materials and Processing Technology XXX ; ISSN 0277-786X

الإتاحة: https://doi.org/10.1117/12.2010966Test