التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان:
Trawienie fosforku indu w plaźmie chlorowej metodą ICP
المؤلفون:
Ruta, Ł. , Kalinowski, A. , Fałkowski, G. , Besland, M.-P.
المصدر:
Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania .
مصطلحات موضوعية:
suche trawienie fosforku indu , metoda indukcyjnie sprzężonej plazmy , dry etching of indium phosphide , inductively coupled plasma method
الوصف:
Artykuł zawiera opis przeprowadzonych badań w zakresie suchego trawienia fosforku indu (InP) metodą indukcyjnie sprzężonej plazmy (ICP) z zastosowaniem plazmy chlorowej (Cl₂ oraz Cl₂/GH₄/Ar).
نوع الوثيقة:
Article
اللغة:
Polish
الوصول الحر:
http://yadda.icm.edu.pl/baztech/element/bwmeta1.element.baztech-article-BWA2-0014-0057Test
رقم الانضمام:
edsbzt.bwmeta1.element.baztech.article.BWA2.0014.0057
قاعدة البيانات:
BazTech
