207 Micro/nano-imprint of glass by diamond mold

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: 207 Micro/nano-imprint of glass by diamond mold
المؤلفون: Kazutoshi Kobayashi, Masaharu Komori, Hiroaki Uchiyama, Hiromichi Takebe, Tadahiko Maekawa, Takahisa Kusuura
المصدر: The Proceedings of The Manufacturing & Machine Tool Conference. :29-30
بيانات النشر: Japan Society of Mechanical Engineers, 2006.
سنة النشر: 2006
مصطلحات موضوعية: Materials science, Metallurgy, Chemical vapor deposition
تدمد: 2424-3094
الوصول الحر: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::31cd97e2877267e8355c21b2216a1cf4Test
https://doi.org/10.1299/jsmemmt.2006.6.29Test
رقم الانضمام: edsair.doi...........31cd97e2877267e8355c21b2216a1cf4
قاعدة البيانات: OpenAIRE