التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
DSA planarization approach to solve pattern density issue |
| المؤلفون: |
Pimenta Barros, P., Gharbi, A., Sarrazin, A., Tiron, R., Posseme, N., Barnola, S., Bos, S., Tallaron, C., Claveau, G., Chevalier, X., Argoud, M., Servin, I., Navarro, C., Nicolet, C., Lapeyre, C., Monget, C. |
| المساهمون: |
Lin, Qinghuang, Engelmann, Sebastian U., Zhang, Ying |
| المصدر: |
SPIE Proceedings ; Advanced Etch Technology for Nanopatterning IV ; ISSN 0277-786X |
| بيانات النشر: |
SPIE |
| سنة النشر: |
2015 |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
unknown |
| DOI: |
10.1117/12.2086810 |
| الإتاحة: |
https://doi.org/10.1117/12.2086810Test |
| رقم الانضمام: |
edsbas.D6D127B7 |
| قاعدة البيانات: |
BASE |
