التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Roughness power spectral density as a function of resist parameters and its impact through process |
| المؤلفون: |
Cutler, Charlotte, Thackeray, James W., DeSisto, Jason, Lee, Choong-Bong, Li, Mingqi, Aqad, Emad, Hou, Xisen, Marangoni, Tomas, Kaitz, Joshua, Rena, Rochelle, Mack, Chris, Nelson, John |
| المساهمون: |
Kye, Jongwook, Owa, Soichi |
| المصدر: |
Optical Microlithography XXXI |
| بيانات النشر: |
SPIE |
| سنة النشر: |
2018 |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
unknown |
| DOI: |
10.1117/12.2297690 |
| الإتاحة: |
https://doi.org/10.1117/12.2297690Test |
| رقم الانضمام: |
edsbas.DC826F6B |
| قاعدة البيانات: |
BASE |
