يعرض 1 - 2 نتائج من 2 نتيجة بحث عن '"Li Jianchao"', وقت الاستعلام: 1.07s تنقيح النتائج
  1. 1
    مؤتمر
    Synchronization control based on phase compensation of tracking error of wafer and reticle stage in step and scan lithographic equipment

    المؤلفون: Li, Lanlan, Hu, Song, Zhao, Lixin, Li, Jianchao, Zhang, Xiongxing

    المساهمون: Liu, Jennifer

    المصدر: International Conference on Optoelectronic and Microelectronic Technology and Application

    الإتاحة: https://doi.org/10.1117/12.2585207Test

    View record in BASE

    أضف إلى المفضلة
  2. 2
    Synchronization control based on phase compensation of tracking error of wafer and reticle stage in step and scan lithographic equipment

    المؤلفون: Lixin Zhao, Li Jianchao, Zhang Xiongxing, Song Hu, Lanlan Li

    المصدر: International Conference on Optoelectronic and Microelectronic Technology and Application.

    مصطلحات موضوعية: Tracking error, Computer science, Control system, Synchronization (computer science), Reticle, Electronic engineering, Wafer, Tracking (particle physics), Focus (optics), Lithography

    الوصول الحر: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9776e40616105c1b9e4ce811a394db7cTest
    https://doi.org/10.1117/12.2585207Test


    أضف إلى المفضلة
أدوات البحث: أحصل على تغذية RSS — أرسل هذا البحث بالبريد الإلكتروني — حفظ البحث