التفاصيل البيبلوغرافية
| العنوان: |
Roughness power spectral density as a function of aerial image and basic process/resist parameter |
| المؤلفون: |
Cutler, Charlotte A., Lee, Choong Bong, Thackeray, James W., Nelson, John, DeSisto, Jason, Rena, Rochelle, Trefonas, Peter, Mack, Chris A. |
| المساهمون: |
Gronheid, Roel, Sanders, Daniel P. |
| المصدر: |
Advances in Patterning Materials and Processes XXXVI |
| بيانات النشر: |
SPIE |
| سنة النشر: |
2019 |
| نوع الوثيقة: |
conference object |
| اللغة: |
unknown |
| DOI: |
10.1117/12.2515073 |
| الإتاحة: |
https://doi.org/10.1117/12.2515073Test |
| رقم الانضمام: |
edsbas.58F9DC1F |
| قاعدة البيانات: |
BASE |
