مؤتمر
Study on planarization performance of spin on hardmask
| العنوان: | Study on planarization performance of spin on hardmask |
|---|---|
| المؤلفون: | Yun, Huichan, Kim, Jinhyung, Kim, Yoona, Jeong, Seulgi, Lim, Sanghak, Yu, Jeong Yun |
| المصدر: | 2018 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) |
| بيانات النشر: | IEEE |
| سنة النشر: | 2018 |
| نوع الوثيقة: | conference object |
| اللغة: | unknown |
| DOI: | 10.1109/cstic.2018.8369206 |
| الإتاحة: | https://doi.org/10.1109/cstic.2018.8369206Test http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/8360436/8369163/08369206.pdf?arnumber=8369206Test |
| رقم الانضمام: | edsbas.6A27E1D3 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| DOI: | 10.1109/cstic.2018.8369206 |
|---|