En este artículo presentamos la simulación numérica de la deformación de tres Sistemas Electro Mecánicos (MEMS) de tipo trampolín al someterse a estrés superficial. Se consideran tres modelos representados mediante un conjunto de Ecuaciones Diferenciales Ordinarias y resueltos por el método de Elemento Finito. Tómese primero una barra rectangular empotrada en la pared. El primer modelo tiene un momento de flexión concentrada en el extremo libre de la barra como fuerza única. El segundo modelo considera la fuerza aplicada en el primer modelo más una carga axial a lo largo de la viga. El tercer modelo es la fuerza aplicada anteriormente, pero además se aplica un stress axial uniformemente distribuido a lo largo de la viga en el eje neutral y un momento de flexión uniformemente distribuido a lo largo de la misma. La aplicación fue programada en Java, aprovechando la programación orientada a objetos, el software libre y del propio lenguaje. El método numérico es apropiado y se obtienen márgenes de error aceptables en el orden de las micras. El método de elemento finito resulta adecuado para el tratamiento de este tipo de problemas
