دورية أكاديمية

Nanofabrication of Three-Dimensional Imprint Diamond Molds by ECR Oxygen Ion Beams Using Polysiloxane

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Nanofabrication of Three-Dimensional Imprint Diamond Molds by ECR Oxygen Ion Beams Using Polysiloxane
المؤلفون: Hirofumi Takikawa, Shuji Kiyohara, Tomoyuki Kashiwagi, Yoshinari Sugiyama, Yoshio Taguchi, Yuichi Kurashima
المصدر: e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 2009, 7:772
قاعدة البيانات: J-STAGE
الوصف
تدمد:13480391
DOI:10.1380/ejssnt.2009.772