رسالة جامعية
Thermo-mechanical design, realization and testing of screen-printed deformable mirrors
| العنوان: | Thermo-mechanical design, realization and testing of screen-printed deformable mirrors |
|---|---|
| المؤلفون: | Reinlein, Claudia |
| المساهمون: | Hoffmann, Martin, Tünnermann, Andreas, Bonora, Stefano |
| سنة النشر: | 2012 |
| المجموعة: | Digital Library Thüringen |
| مصطلحات موضوعية: | thesis, Doktorarbeit, Klasse A, ddc:620, für Harvesting bereitgestellt, DNB Meldung, Thüringer Pflichtexemplare, Deformable mirror, unimorph, bimorph, screen-printed actuator, piezoelectric, thermo-mechanical design, compound loading, laser-induced deformation, thermal loading, zero deflection |
| الوصف: | Die primäre Zielstellung dieser Dissertation ist die Entwicklung ungekühlter, unimorph deformierbarer Spiegel (DM) zum Ausgleich thermischer Linsen in Hochleistungslasersystemen. Die sekundäre Zielstellung ist die Entwicklung eines Herstellungsprozesses für DM, der hauptsächlich auf Waferleveltechnologien beruht und somit manuelle Prozesse reduziert.Der DM besteht aus einem Spiegelsubstrat auf dessen Rückseite eine piezoelektrische Schicht zwischen zwei Elektroden aufgebracht ist. Diese Art von Spiegeln wurde bereits erfolgreich in Hochleistungslasersystemen eingesetzt. Eine weitere Erhöhung der Laserleistungsdichte erfordert jedoch neue thermische Kompensationstechniken, bei der die Spiegelperformance nicht durch Temperaturschwankungen in der Spiegelbaugruppe vermindert wird.Ein hierfür entwickeltes Mehrlagendesign integriert mehrere Schichten in den Spiegelaufbau, dessen thermo-mechanische Parameter sich vom Substrat und der piezoelektrischen Schicht unterscheiden. Mittels analytischen Methoden und der Methode der finiten Elemente wurde eine Optimierung im Hinblick auf großen piezoelektrischen Hub und optimierte thermisch-induzierte Deformation durchgeführt. Diese wird entweder durch eine homogene Temperaturveränderung in der Spiegelmembran oder durch Absorption von Laserstrahlung generiert. Die dabei hervorgerufenen Veränderungen werden abhängig von Diskontinuitäten der piezoelektrischen Schicht, den mechanischen Randbedingungen, der spiegelnden Kupferschichtdicke und der Spiegelfassungsmaterialen simuliert.Ein aus sechs Arbeitsschritten bestehende Herstellungsprozess für DM mit siebgedruckter piezoelektrischer Aktorstruktur wurde entwickelt. Fünf Schritte sind davon auf Waferlevel prozessierbar. Einzig die Bearbeitung der Spiegelfläche mittels eines ultrapräzisen Drehprozesses ist keine Serienfertigung. Im Gegensatz zum Stand der Technik für DM ist die elektrische Verdrahtung der strukturierten Elektroden auch auf Waferlevel prozessierbar und das Spiegelsetup ist monolithisch.Thermisch induzierte ... |
| نوع الوثيقة: | doctoral or postdoctoral thesis |
| اللغة: | English |
| العلاقة: | https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:ilm1-2012000191Test; https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00020398Test; https://www.db-thueringen.de/servlets/MCRZipServlet/dbt_derivate_00025432Test; http://uri.gbv.de/document/gvk:ppn:715348450Test |
| الإتاحة: | https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:gbv:ilm1-2012000191Test https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00020398Test https://www.db-thueringen.de/servlets/MCRZipServlet/dbt_derivate_00025432Test http://uri.gbv.de/document/gvk:ppn:715348450Test |
| حقوق: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| رقم الانضمام: | edsbas.139D4A65 |
| قاعدة البيانات: | BASE |
| الوصف غير متاح. |